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? ? 眾為興機器人


? ? 全球工業機器人代表性品牌

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? ? 國產SCARA頭部品牌


? ? 2017- 2019 年

? ? SCARA 機器人出貨量國產第一

? ? 2020- 2023 年

? ? SCARA 機器人出貨量全球第四


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VA真空單臂系列機器人

可根據設備布局定制臂長及Z軸行程

末端執行器類型:下托式



臂展: 520mm? 負載: 2kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境: 真空

AHY系列 晶圓機器人

真空隔離,從容應對高真空環境

雙工位交換晶圓動作(Swap)


臂展: 213.4mm? 負載: ≤1kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境:真空


DFA大氣雙軸片盒系列

采用閉環伺服控制

可根據設備布局定制臂長


臂展: 400mm? 負載: 12kg? 搬運物: 4-12寸晶圓片盒?? 環境:大氣

FA大氣單指系列機器人

采用閉環伺服控制

可根據設備布局定制臂長和Z軸行程

可選配免電池絕對式編碼器

可選mapping傳感器類型:對射式、反射式

可選末端執行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式


臂展: 420mm? 負載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓?? 環境:大氣

FBA大氣雙指系列機器人

采用閉環伺服控制

可根據設備布局定制臂長和Z軸行程

可選配免電池絕對式編碼器

可選末端執行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式


臂展: 640mm? 負載: 4kg? 搬運物: ≤Φ300mm晶圓? 環境: 大氣

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